纳米科技的起源可以追溯到1959年，当时著名诺贝尔物理学家查理·费曼（Richard Phillips Feynman）在美国物理科技大会中提出了纳米概念。

之后的70年代，科学家们开始从不同角度提出有关纳米技术的构想。

直到1974年，日本谷口纪男教授（Norio Taniguchi）第一次使用“Nano-Technology”一词描述精密机械加工，为纳米技术定名。