N型拉晶比P型成晶难,主要是因为在N型拉晶过程中,掺磷工艺较为困难。
磷与硅的相溶性较差,这会导致拉晶时磷的分布不均匀。
为了提高良率,需要控制杂质含量,特别是碳、氧以及三价和五价的金属杂质,这些都会影响硅片的少子寿命(空穴)。
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